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膜厚測(cè)試儀 準(zhǔn)直器：ø0.05mm；ø0.1mm；ø0.2mm；ø0.5mm；四準(zhǔn)直器任選一種 近測(cè)距光斑擴(kuò)散度：10% 小測(cè)量面積：約0.002mm² 測(cè)量距離：具有距離補(bǔ)償功能，可改變測(cè)量距離，能測(cè)量凹凸異形樣品，變焦距離0-30mm 樣品觀察：1/2.5彩色CCD，全局快門(mén)，有效像素：1280*960，變焦功能 對(duì)焦方式：高敏感鏡頭（無(wú)需增加其他輔助傳感器），手動(dòng)對(duì)焦