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  • 超薄膜厚測試儀具體組成及作用解析
    20258-1

    超薄膜厚測試儀是一種用于精確測量納米級至微米級薄膜厚度的高精度儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)涂層、新能源材料、表面工程等領(lǐng)域。其組成結(jié)構(gòu)通常包括硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)兩大部分,各模塊協(xié)同工作以實(shí)現(xiàn)高分辨率、高重復(fù)性的測量。一、超薄膜厚測試儀硬件系統(tǒng):1.光源模塊(核心激發(fā)源)組成:根據(jù)原理不同,可能采用激光(如氦氖激光、半導(dǎo)體激光器)、白光LED或氙燈等;部分設(shè)備配備可調(diào)節(jié)波長的單色儀,以適配不同材料的...

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